「拓展可能性」 其他測量與功能

小口徑用鏡片測量 

如顯微鏡用的小口徑鏡片, 對中心厚的誤差要求是更加嚴格。本裝置使用專用治具可以測量。

右圖為φ3mm半球形透鏡的測量數據。  

ΔH測量功能 

以往沒有「非接觸式」測量ΔH的方法, 一般使用深度儀的「接觸式」測量。CT-gauge挑戰這項難題, 實現ΔH 的「非接觸式」測量。  

被測樣品調芯功能

測量小口徑而小曲率的鏡片時，依據掃描起點位置的不同，可能會產生反射光無法正確返回的情形。CT-gauge具有位置微調功能, 可使用STAGE調整位置誤差。  

防止碰撞功能 

根據被測樣品的反射率等因素, 位移計可能會異常接近或碰撞被測樣品。為防止此情形, 測量前輸入被測樣品的高度(厚度)資料, 防止發生碰撞。  

測量(檢査)報告

可以生成生產管理所需要的精度公差OK/NG判定報告。