機　　種

様々なレンズを高精度測定できるモデル

校正原器を内蔵した自動頂点検出仕様。測定正確性は基準鋼球径に対し＜１μの超高精度を誇ります。

※３Dマップ表示有り

・測定中心厚９０μ～５０ｍｍ（凸面）まで

・３D解析による三次元マップ表示

・測定径は１０ｍｍ～１００ｍｍまで自在に対応

　（※１０ｍｍ以下は専用ホルダーを使用）

・ΔＨ測定可能

露光機用など大型レンズ用に特化したモデル

半導体露光機用の大口径レンズ（最大４００ｍｍ）の中心厚を非接触で測定可能とした仕様。

３σ再現性＜１μ。加工初期の粗面も測定が可能。

※３Dマップ表示なし

・測定中心厚１ｍｍ～１２０ｍｍまで

・グラナイト製筐体を採用した高剛性仕様。

・測定径は５０ｍｍ～４００ｍｍまで自在に対応

・レンズ情報入力に依るレシピ管理ソフトウエア搭載

精度より高速測定を優先にしたモデル　※開発中

規格中心厚値との差分を素早く出力する大量生産現場用仕様。サンプルステージを昇降させる新方式を採用。

※３Dマップ表示なし

・測定中心厚９０μ～５０ｍｍ（凸面）まで

・サンプルステージ側が上下する高速測定仕様。

・サンプルは専用ホルダーを使用。

・ΔH測定可能